1.目的:本设备功能为将5槽式RENA/SCHMID清洗制绒或刻蚀机中硅片导出,装入料盒中,以供下一步工艺使用。 2.适用尺寸: 125×125 (±0.5mm);156×156 (±0.5mm)厚度为 160~280μm 的方形硅片。 3.操作方式:自动(自动换蓝)。 4、3000-3500片小时 5工位
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欢迎来到东莞市启天自动化设备有限公司网站, 具体地址是广东省东莞市樟木头镇樟木头镇樟洋工业区富竹二街8号,老板是梁先生。
主要经营等离子清洗机,电浆清洗机,等离子刻蚀机,自动硅片装片机。
单位注册资金单位注册资金人民币 250 - 500 万元。
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